潔（jié）淨室各項目檢測（cè）方法總結

來源： 杭州華量檢測技術有限公司 日（rì）期（qī）：2019-03-07 16:56:30 點擊（jī）： 屬（shǔ）於：相關資訊

高效過濾器檢漏
一、說明
過濾網的泄漏測試應當是無塵室測試中，最複雜、最耗時間的測量項目。泄漏測試的目的，是要確認（rèn）：
1. 濾網（wǎng）的材料（liào）無破損，
2. 安裝（zhuāng）恰當。
濾網出廠前當然要經過泄漏測試，但是在搬（bān）運與安裝過程難保完全無損，而且濾網的重要性（xìng）又大於一切，因此安裝完畢都要做一次掃描，以確認濾材無任何（hé）泄漏。另外（wài），若是安裝不恰（qià）當，微粒會（huì）從（cóng）邊框漏進無塵室風口。就算（suàn）是 FFU 係統，天花板上是負壓，若是邊框機有微粒日後仍舊會產生問題。因此，邊框掃描一樣重要。濾（lǜ）網泄漏測試基本上是利（lì）用濾網上遊的顆粒（lì），然後在（zài）濾網下表麵與邊框（kuàng）用微粒探測儀器搜尋有無泄漏。泄（xiè）漏測試有幾種不同的方式，適用（yòng）在不（bú）同的場合。
測試方式有：
1. 氣膠光度（dù）計測試法， 2. 微粒計數器測（cè）試法， 3. 全效率測試法， 4. 外氣測試法。後兩種現在使用非常少。

二、方法
氣溶膠光度計測試法
氣（qì）膠光度計測試法是最早期的測試方式，但是因為效果非常好，到今天（tiān）仍舊沿用。氣膠光度計（ Aerosol Photometer ）是微粒計數器的一種，也是使用雷射科技，但是它在（zài）掃（sǎo）描空（kōng）氣（qì）樣本的微粒之後，所給的是微粒的總體強度，不是微粒數目。 DOP 是一種油性化學物質，現改用PAO,加壓或加熱霧化之後，可以產生次微米等級的微粒（lì），可用來模擬無（wú）塵室的微粒（lì），因此被當成驗證微粒。微粒計數器（qì）測（cè）試法
半導體業（yè）方麵，早期也是使用 DOP/PAO 與氣（qì）膠光度計，但是（shì）隨著製造精密度增加，油性挑戰微粒逐漸不容許在無塵（chén）室使用，因此出現使用幹式灰塵當成挑戰微粒，在上遊施放，然後用微粒計數器在下遊掃描，尋找泄漏，基（jī）本（běn）概（gài）念（niàn）完全相同。經過科學家一步步（bù）研究結果，發現（xiàn） PSL 因為微粒的粒（lì）徑與濃度可以控製，因此是目前最廣為使（shǐ）用（yòng）的標（biāo）準微粒。使（shǐ）用時隻要把 PSL 溶液霧化，導入濾（lǜ）網上遊即可

PAO/DOP過濾器檢漏
一（yī）. 說明
氣膠光度計測試法（fǎ）是（shì）最早期的測試方式，但是因為效果非常好，到（dào）今天仍舊沿用。氣膠光度計（Aerosol Photometer）是微粒計數器的一種，也是使用雷射科技，但是它在掃描空氣（qì）樣本的微粒之後，所給的是微（wēi）粒的總體強度，不是微粒（lì）數目。DOP是一（yī）種油性化學物（wù）質，加壓或加熱霧化之後，可以產生次微米等級的微粒，可用來仿真無塵室的微粒，因此被當（dāng）成驗證微粒。
1 泄漏的定義是泄漏出上遊濃度萬分之（zhī）一（yī），由於氣膠光度（dù）計可以直接顯示上下遊微粒濃度的比值，因此掃描（miáo）濾（lǜ）網非常方便。也正因其（qí）準確、可（kě）靠，美國食品與藥品管製局（FDA）規定（dìng），在其（qí）管轄範圍內（食品加工場所與醫療製藥場所），所有（yǒu）的濾網泄漏測試必須使（shǐ）用DOP與氣膠光度計。近年來由於人們懷疑DOP會導致癌（ái）症，因此多（duō）改（gǎi）用PAO。PAO和DOP的（de）特性類似，使用上無多大差異。
二. 測（cè）試（shì）儀（yí）器
1 本測試法使用儀器為氣膠光度計（Aerosol Photometer）與微粒產生器（Aerosol Generator）。氣膠光度計（jì）的（de）顯示版有模擬與數字兩種，每年必須校正（zhèng）一次。微粒產生器有兩種，一種是（shì）普通的微粒產生（shēng）器，隻要求高壓空氣（qì），另一種是加熱型微粒產生器，要高壓空氣和電源，微粒產生（shēng）器不需要校正。
三. 測試方式
濾網泄漏測試的步驟，大致上是施放微（wēi）粒並（bìng）檢查濃度、濾網與邊框掃描以發現泄（xiè）漏、更換或修補、重測，其步驟說明如下
在圖麵上記錄濾網數量並編號。
確定空調係統正常運轉並可供測試，風速與風量必需調整平衡完畢。
使用（yòng）氣膠產生器在上遊施放挑戰微粒（lì），將PAO打入濾網上遊，微粒（lì）濃度是（shì）大約每公升（shēng）空氣含有10到20微（wēi）克（kè）的PAO。微（wēi）粒愈多愈容（róng）易找出泄漏，但是超（chāo）過50微克以（yǐ）後差（chà）別不大，少（shǎo）於10則很難使（shǐ）用（yòng）。微粒濃度可用風量粗略計算，再用氣膠光度計確認。
上遊微粒（lì）濃度（dù）確認後，就可以在濾網表麵掃描（miáo），尋（xún）找泄漏（lòu），必要時濾網（wǎng）四周（zhōu）可用塑料簾覆（fù）蓋以確保測試之準確
在濾網表麵掃描，掃描之路徑可由外而內或沿長/短邊迂回檢測.

潔淨度測試
一、說明
潔淨度測試是無塵室性（xìng）能（néng）測試（shì）的核心，氣流測試、壓力測試，與泄漏測試，都隻（zhī）在（zài）確（què）認無塵室的潔（jié）淨度（dù）不受外來影響，因此潔淨度測試都放在前（qián）述幾項（xiàng）測試都通過之後（hòu）。潔淨度測試完畢，與落（luò）塵有關的性（xìng）能因（yīn）素就都測試完畢，其它測試對潔淨度影（yǐng）響不大，或是屬於其它環境測試。
二、測試儀器
潔淨度測試使用微粒計數器，儀器須經校正合格且仍在有效期限（xiàn）內，交附報告時須附合格（gé）之校正文件。微粒計數（shù）器有（yǒu）不同規格，最常見的是流量 1cfm ，最小粒徑可（kě）測到 0.3mm 或是 0.1mm ，單位多是立方英呎。至於應使（shǐ）用何種設備，要依業主的規範（fàn）而定。一般在產業界，多依以下方式選擇微粒計數器。
Class 1000 或更高： 0.5μm
Class 100 ： 0.3μm ，0.5um
Class 1 到 Class 10 ：0.1μm
若是業主要求的粒徑範圍超過單一微粒計數器的範圍，則應該使用兩（liǎng）部微粒計數器。目前市麵（miàn）上少見立方公（gōng）尺（chǐ）的微粒計數器，因此若是無塵室的潔淨度是以 ISO 為基準，則要把（bǎ）結果作換算。單位換算，不影（yǐng）響（xiǎng）上限的計算程序。
三、測試步驟：
(1) 確定空調係統之測試調整與平衡已完成，濾網（wǎng）之風速及泄漏測試均已完（wán）成，並已修換破損部分。
(2) 確認測試位置與測試點數。
(3) 取樣時間：每點的取樣時間（jiān）依照（zhào）等級與粒徑不同（tóng）而異，若取樣時間小於（yú）一分鍾，則以一分鍾為準。
(4) 測試位置應均勻（yún）分布在無塵室內，避（bì）免在產生大量粒子之（zhī）附近，且將檢測儀器以適當（dāng）之架台支撐，不可以手持支撐。
(5) 測量點數以公式計算（suàn）（與 209E 相同）。
四、驗收標準：
潔淨度的驗收基準有二，首先是每點的微粒測（cè）量平均值（zhí）必須（xū）低於規定值。潔淨（jìng）度的第二個（gè）驗收基準就是，任一隔間若需使用信（xìn）賴度上限分析，則該分析值也必須小於規定值。

風速及平（píng）衡性測試
一、測試目的
氣（qì）流是控製潔淨度與溫濕度的最主要因素，它對噪音也有一些影響。因此風速測量，都是放在無塵室測試的第一步。風速測量的目的，是確認濾網送出的氣流滿足設計規範，其（qí）次是確認氣流的均勻度。在某些（xiē）場（chǎng）合可能因現場（chǎng）的限製，室內換氣量還（hái）必須（xū）用（yòng）風速乘（chéng）以出口麵積來換算。
單一流向型無塵室，很多都是（shì）設計（jì）成垂（chuí）直層流，因此風速均勻度非常重要，隻有均（jun1）勻的垂直（zhí）層流，才能有效排除微（wēi）粒汙染。非單一流向型無塵室，由於（yú）微粒控製的觀念是稀釋（shì），不是（shì）立（lì）即排（pái）除，一般而言其換氣量遠比風速重要。但是需注明是濾網風速測量或是無塵室室內風速測量（liàng）。
二、使（shǐ）用儀器（qì）
無塵（chén）室裏麵使用的 HEPA/ULPA 濾網，其送出氣流的速度多半都控製在 0.5m/s 以內，因此所使用的風速計必須是低速型。濾網風速測量可使用單點式風速計（jì）如電（diàn）子式（shì）壓力計配合皮氏管、熱線式風速（sù）計。也（yě）可以使用多點式風速計如 Shortridge Velgrid 16 點風速計。輪葉式風速計因使用範圍不同，通常不在（zài）無塵室內使用。熱線式風速計（ Hot Wire ）雖然高頻響應良好，但是（shì）低速時〈 0.5m/s 以下〉準確性（xìng）很低，因此不很適用，一般熱反應風速計常用的是 Thermeister 式風速（sù）計。轉輪式風速（sù）計由於本身重量問題，也不適（shì）用低速。檢驗儀器須經校（xiào）正合格，且仍在有效期限內。
三、測試步（bù）驟
(1) 在圖（tú）麵上記錄濾網尺寸、數量並編號。
(2) 取（qǔ）樣點位（wèi）於濾網下方 75-150mm 處（chù）。
(3) 每一個（gè）濾網下，若是使（shǐ）用（yòng）單點式（shì）風（fēng）速計，則（zé）每 1 平方英尺取一（yī）點；若（ruò）是（shì）使用（yòng）多點式風速計，則每 4 平（píng）方英尺取一點。
(4) 每測量點（diǎn）必（bì）須取 5 秒的平均。
(5) 依驗收標準分析所有風速（sù），計算平均值、標準差、相對標（biāo）準差（chà），並標明不合格測試點。
(6) 記錄（lù）所有原始數值，以及分析後的數（shù）值。重（chóng）要的（de）是在非單一流向型無塵室測試時，特別注意取樣時風速計不可受到幹擾（rǎo），以免影響準確度。
四、數據分（fèn）析
風（fēng）速測量很簡單，但是均勻度必須由數據（jù）分析來判定。均勻度（dù）是由相對（duì）標（biāo）
準差來代表（biǎo），其計算步驟如下。
1. 平均值：2. 標準差

風量（liàng）及平衡性測試
一、說明
風量測量（liàng）的目的通常是用來計算換氣量，一般是在非單（dān）一流向型（xíng）無塵室，或（huò）是測量空調係統中（zhōng）各式各樣的出風（fēng）口、回風口、排氣口等的風量時使用。隻有在無（wú）法使用氣罩的場（chǎng）合（氣罩體積較大，有時會受限製），才能使用風（fēng）速乘以麵積等於風量的方式，用風速來換算風量。使用風速（sù）換算風量時，須（xū）注意出風口之有效麵積以（yǐ）及修正係數的取得。在回風口（kǒu）和排氣口，使用換（huàn）算法的準確度（dù）非常差，應盡量避免。同樣（yàng）氣（qì）罩通常可以測量送風與回風，正（zhèng）值（zhí）代表送風，負值代表回風或排氣。須注意的（de）是反（fǎn）向測量時（shí），其測量範圍通常會降低。
二、測試儀器
風量測量應當使用氣罩（ Flow Measuring Hood ），氣罩的（de）測量範圍是 15~2500 cfm ，精確度要求為讀數的 ±3% 。由於氣罩本身會（huì）產生壓損（sǔn），因此其形狀（zhuàng）很重要，應盡量使用原廠氣罩。若有必要自行製造罩子，應（yīng）注意氣流順暢並且做（zuò）詳細比對。氣罩的校正非常（cháng）重要，必須主機連同罩子一起校正（zhèng），才能得（dé）到準確校正值。檢驗時必須使用校正合格且仍在有效期限（xiàn）的儀器，於正式檢測前及繳交報告時均須檢附合格之校正文件。
三、測試步驟（zhòu）：
(1) 在圖麵上記（jì）錄濾（lǜ）網尺寸、數量並編號。
(2) 使用恰當尺寸氣罩將出風口完全罩住，然後測量與計錄。
(3) 依驗收標準分析所有風量，計算平均（jun1）值、標準差、相對標準差，並標明不合格（gé）測試點。
(4) 記錄所有原始數值，以及分析後的數值。
四、數據分析（xī）：
風量均勻度的計（jì）算與風速向同，都是由相對標準差來代表，其計算（suàn）步驟如下。
1.平均值：將（jiāng）所有風測量（liàng）量值取算數平均
2. 標準差：計算所有風測量量值的（de）標準差

壓差測（cè）試
一（yī）、說明
壓力測量的目的是確認（rèn）無塵室空調係（xì）統的壓力設（shè）定。無塵室內維持相當的正壓以維持潔淨度，這已經是個 common sense ，在 209 的舊版本中（zhōng），正壓有建議值，但（dàn）是後來就取消了。目前常見（jiàn）的正壓值（zhí）約是 10 到 25 Pascal 之間。壓力測量的時機，應該是在風速、風量、平（píng）行度等與氣（qì）流直接相（xiàng）關的測試結束之後立（lì）即測量（liàng），尤其不可在潔淨度測量完畢之後才測量壓力。因為如果壓力不對，要立刻調整以免影響潔淨度。測量時，所有門（mén）窗都必須關上，所有的風扇也必須維持正常（cháng）運轉。
二、測試儀（yí）器
壓力測量可使用傾斜管（guǎn）壓力（lì）計，指針（zhēn）式（shì）壓力計，或是電子（zǐ）式壓力（lì）計，總之隻要測量（liàng）範（fàn）圍與精確度（dù）滿足要（yào）求即可。壓力計之精確度（dù）要求為讀數的 ±5% ，測量範圍式壓力設計值而定，一般 0~5mm Aq （ 0–50 Pascal ）即可（kě）涵蓋室內（nèi）外壓力差之測量。儀（yí）器需（xū）經校（xiào）正合格且仍在有效期限內（nèi）之才（cái）可以使用，檢測前及（jí）交附（fù）報告時均須檢附合格之校正文件。
三、測試步驟
必須（xū）在風速、風量、氣流等測試完成後，才能測試壓力，並且排氣與 MAU 要（yào）完全正常運轉。
全部門（mén）與開口都要關閉。室外大氣壓力假設（shè）為 0.0mmAq 表壓力。
測定潔淨區域與相鄰較次級潔淨區域之壓（yā）差，再測量房間（jiān）與 Gowning room 之間壓差，最後測量（liàng） Gowning room 與（yǔ）外（wài）部之壓（yā）差。
建議壓差值為 5~12Pa ，並無強製規定。
記錄所有數值。

溫濕度檢測
一、說明
溫濕度測量的目（mù）的（de）是確認室（shì）內之溫濕度控（kòng）製在範（fàn）圍之內，溫濕度對微粒控製沒有甚麽影響，因此溫濕度測試屬（shǔ）於第三級測試（ Level 3 ）。但是因（yīn）無（wú）塵室多半同時也是（shì）環控室，所以溫（wēn）濕度常常就一並測量了。溫濕度測量又分為一（yī）般測量和進階測量（ General Tests and Comprehensive Tests ），一般測量隻是測量溫濕度在（zài）測量點的實時數據（單（dān）一測數據），適用在對溫（wēn）濕度要求不（bú）高的場所。進階測量就要紀錄在測量點（diǎn）一段長時間的溫濕度，目的是要觀察溫（wēn）濕度隨時間的變化情形，以確認濕度在控製之下。進階測量適用在對溫（wēn）濕度要求比較高的場（chǎng）所。
二、測試（shì）儀器：
常見（jiàn）的溫濕度儀器是電子式溫（wēn）度計與鏡（jìng）麵冷凝光學式濕度計，一般測量和進（jìn）階測量使用儀器的精度相同，溫度測量範圍是 0-100 ℃ ，精確是 ±0.2 ℃ 。濕度測量範圍是 10 ﹪ 到 95 ﹪ ，精確度是 ±2 ﹪ 。一般測量要求溫度之顯示值可（kě）顯示 0.1 ℃ 的變（biàn）化，濕度的顯示值可顯示 1 ﹪ 的變化。進階測量則要（yào）求溫度（dù）之顯示值可顯示 0.05 ℃ 的變（biàn）化，濕的顯示值可顯示 0.1 ﹪ 的變化。檢測儀器需校正合格且仍（réng）在有效期限內者，於（yú）測試前或交附報告時均須檢附合格之校正文件。
三、測試程（chéng）序：
確認空調係統已經安裝完成（chéng），並已完成（chéng）測試、調整、平衡。空調係統（tǒng）測試、調整、平（píng）衡可以平衡風量和水量，使（shǐ）其達到設計要（yào）求（qiú），為溫濕控製提供正確（què）的運轉環境，因此係統要先平衡才能測試。
依據平麵圖，列出各種溫濕度要求區域，並使係統達到正常（cháng）運轉（zhuǎn）狀況，係統應在溫濕度自動控製之下，至少運轉 24 小時以上。
測（cè）試點數為每個房間至少量一點，並且每個溫濕度控製區至少量一點，例（lì）如（rú）每個 Dry Coil 的（de）控（kòng）製範（fàn）圍要量一點，測量高度為 ( 高架 ) 地（dì）板上 1.00m 。
將溫濕度傳感器放置同一（yī）位（wèi）置，待穩定後開始記錄。

光照度（dù）測試
一、測前準備
潔淨室所有開孔（kǒng）皆需封閉氣密處理完成
測（cè）試前空調（diào）係（xì）統應已完成測試、調整、平衡，並已連續運轉24小時以（yǐ）上（shàng）。潔淨室環（huán）境需清潔完成
二、測試目的
此檢測動作在於確認無塵室照明係統是否有達到設計要（yào）求。
三、測試儀器
專業照度儀
四、測試步驟
無塵室光源至少使用（yòng）100小時以上，測試前需（xū）點亮2小時以上。
確認測試點及配置圖編（biān）號。
將（jiāng）照度儀固定置於距離地板上1.2m高度，待數值穩定後量測10秒記錄。

噪音度測試
一、檢測準備
竣工圖麵（miàn）（初（chū）版）與相關規範確認
潔（jié）淨室所（suǒ）有開孔（kǒng）皆需封閉氣密處理完成。
測試前（qián）空調係統應已完成測（cè）試（shì）、調整、平衡，並已連續運轉24小時以上。潔淨室環境需清潔完成。
二、測試目的
此檢測動作在於確認無塵室噪音是否有達到（dào）設計要求。
三（sān）、測試儀器
專（zhuān）業（yè）噪音儀
四、測試位置
每40m2取1點為量測（cè）點（diǎn），另針對（duì）業主要求局部增加測試（shì）點數。
五、測試步驟（zhòu）：
a.無塵室所有空調設備及公用設備均為運轉狀態。
b.確認（rèn）測試點及配置圖編號（hào）。
c.將照度儀固定置於距離地板上1.2m高度，高度量測10秒後記錄（lù）最大值。

氣流流向檢測
一、測試目的
平行度測量的目（mù）的，是觀察在工作區域裏麵氣流的運動模式，同時也可以觀察儀器設備對氣流的（de）影（yǐng）響。平行度測量（liàng）應該在氣流的風速與均（jun1）勻度（dù）都測試完畢且通過之後進行，過早進行可能得不到正確的（de）數據。
二、測試方法
一般而言平行度（dù）的測（cè）量，是由肉眼觀察所決定。使用的工具包括煙霧、水霧（wù）、 PFA 、和輕質棉線。。煙霧或水（shuǐ）霧的共同優（yōu）點是隻要粒子夠小，煙霧可隨風飄揚，可正確的反映（yìng）氣流運動模式。但是其（qí）共同問題是滯空性不足，觀測（cè）時間太短（duǎn）。測量平行度需要花一些時間，因此需（xū）要大量煙霧或水霧，對無塵室可能造（zào）成汙染。另一種方（fāng）式是使用輕質細線，讓細線隨風飄（piāo）舞，然後測（cè）量（liàng）氣流平行度。在無塵室內普遍（biàn）使用新的高分子材料 Flo-Viz ，是用尼（ní）龍抽成單絲所製成，由於（yú）質量很輕因此適合（hé）作無（wú）塵室平行度測量。測量平行度的方法是立（lì）一根鉛垂線，然後在濾網下方施放煙霧（wù）或是安（ān）放細線，之後觀察所施放煙霧與鉛垂線（xiàn）的夾角，或是測量（liàng）細線與鉛（qiān）垂（chuí）線的夾角，就可決定氣流（liú）的平（píng）行度。
三、測試儀器
1. 支架 2. 鉛垂線 3.Flo-Viz 細（xì）線 4 .氣流（liú）流向檢測儀
四、測試步驟
1. 用支架設立垂線作為基準線。
2. 將細線在室內懸吊，使其自然下垂，細線會隨（suí）空氣流向飄移（yí）。計算偏（piān）移角（jiǎo） =tan-1( 懸吊線徧移（yí）量 /1220) 。 6. 每 3m×3m 區域量 1 點。若是使用煙霧，其方式很類（lèi）似，就是在濾網下施放煙霧，然後將鉛垂線的上（shàng）端點（diǎn）移動到與煙霧相接（jiē）觸，將紅線（xiàn）當成煙霧，再（zài）計算夾（jiá）角就可以了。

地板導電檢測
一、測試介紹
導電度可視為電流流經或繞過某物體之容易程度 (relative ease) ，電阻的倒數即導電度
二.、測量目的
測量地板上點與點之間 (Floor Point to Point) 的電阻，和地板（bǎn）與大地間 (Floor to Ground) 的電阻
三、Point to Point 檢測過程
溫濕度（dù）需已經測試調整合格（gé）
每組數據需使用兩個電極
電阻計之開（kāi）路電壓為 500 奧姆，內阻至（zhì）少 100000 奧姆
每個無塵室至少量 5 組（zǔ）數據，取平均值
四、Floor to Ground 檢測過程
這是測量無塵室地板與接地電極（jí）間，導電性的強度。
溫濕度需已經（jīng）測試調整合格（gé）
電阻計兩端（duān）的電極，一個接在地板上，另一個連（lián）在最接近的建築物柱子上
測量（liàng）位置由 Owner 指定，應有 20 個位（wèi）置
每位置取（qǔ）不同的 5 點測量，再取平均值
平均之電阻應小於一（yī）百萬歐姆
所有的原始數據與平（píng）均值都（dōu）需表列於報告中

自（zì）淨能力檢測
一、測試目的
確認在無塵室（shì）釋放顆粒後，測量在多少時間內能恢複到釋放之前的潔淨水平。
二、測試儀器
顆粒測試（shì）儀（品牌 MET ONE），型（xíng）號：3313、2100、顆粒釋放（fàng）器。
三、測試位置
任意抽取測量點，也可與相關人員共同確（què）認測試點。
四、測試步驟（zhòu）
在測試開始之前要保證淨房空調係統正常運轉24以上，讓（ràng）潔淨環境達到一個穩（wěn）定的水平。
在抽取的測量點放好（hǎo）顆粒計數器，先（xiān）做顆粒潔淨度測試，記錄該房間每立方（fāng）英尺體（tǐ）積的空氣（qì）中（zhōng）含有的0.3um顆（kē）粒數量，連續測試數分鍾，待取一個穩定的數據，此時，再將（jiāng）該房間的整（zhěng）個空調係統全（quán）部斷電。
在該房間內釋放顆粒，使於外界非潔淨區域的顆粒自使整個潔淨室0.3um的顆粒濃度達到之前濃度的10或100倍。此時再啟動空調係統，使其正常運行，測（cè）試該潔淨室（shì）內（nèi）顆（kē）粒濃度恢複到之前水平所需要的時間

靜電檢測
一、測試目的
靜電問題不是隻有半導體業才有，其它行業也有類似問題。微小物質上若（ruò）是含有靜電，就會變成非常難處（chù）理的問題，因為傳輸變的很不容易。另外在無塵室裏（lǐ）麵，若（ruò）是物體表麵帶有靜電，就很容易吸引灰塵造成汙染。靜電測試的目地是測量空氣中正（zhèng）離子與負離子的含量，依此數據可仿真物體在該氣流場中之殘餘表麵電（diàn）壓。
二、測（cè）試程（chéng）序
於無塵室內（nèi）離地 32 英吋 (813 mm) 處，測量該位置之空氣中正離子與負離子的含（hán）量，單位（wèi）是每（měi）立方厘米離子數。測量點數： 10 個（gè），或由業主自己決定。在同一位置做殘餘電（diàn）壓測試。

杭（háng）州華量檢（jiǎn）測技術有限公司成立於2013年，是一家經（jīng）CMA權威認證的專業從事室內空氣檢測、潔淨（jìng）室檢測、技術谘詢服務為一體的第三方權威檢測機構，華量檢測（cè）立足於杭州，業務範圍輻射全國，公司自成立以來已為數千家企業（yè）單位及家庭（tíng）用戶提（tí）供了檢測（cè）服務，並獲（huò）得大家的一致（zhì）好評，歡迎您谘詢洽談！

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