1.潔淨廠房的基本構成
什麽是潔淨室（shì）？
內部塵埃粒子濃度受控且分級的房間，該房間是按照一定的（de）方式來設計、建造和運行，以控製房間內粒子的引入、產生和滯留。
潔淨（jìng）廠房的構成（chéng）
天花板係統（tǒng）：包括吊杆、鋼梁、天花板。
隔（gé）牆板：密胺樹脂麵層的牆體板材（cái）、彩鋼（gāng）板麵（miàn）層的牆體板材。
潔淨門：鋼製門、彩鋼（gāng）板門、不鏽鋼（gāng）門。
觀察窗：圓角窗、方角窗
地麵：包括環氧彩砂（shā）地麵、PVC卷材（cái）、環氧自流坪（píng）。
照明燈具：包（bāo）括日光燈、黃色燈管等。
潔淨電話
傳遞窗：淨化傳遞（dì）窗、普（pǔ）通傳遞窗、VHP傳遞窗
層流罩（zhào）
負壓稱量室（shì）
隔離器（qì）和（hé）限製進出屏障係統
潔淨室
2.潔淨廠房的分類
按（àn）照潔淨室氣（qì）流流行（háng）劃（huá）分為三種：單向流潔淨室（shì）、非單向流潔淨室、混合流潔淨室。
單向流潔淨室
單向流潔淨室是氣流以均勻的截麵速度，沿（yán）著平行（háng）流線以單一方向在整（zhěng）個室截（jié）麵上通過的（de）潔淨室。適用於A級（jí）潔淨室（區），有（yǒu）水平單向流和垂直單向流（liú）兩種（zhǒng）。
兩種單向流均依賴於末端過濾器的送風與回風口接近一對一的（de）相對設置（zhì），以盡可能保持氣流呈直線。這兩種（zhǒng）單向流能（néng）夠保證工藝（yì）核心區氣流受到的幹擾最小。
單向流（liú）通過活塞和擠壓原理，把灰塵從一端向另一端擠壓出去，用潔淨氣流置換汙染氣流（liú）。與潔淨氣（qì）流相垂直的工作麵上的各個位置都具（jù）有相同的潔淨度。
單（dān）向流潔淨室
非單向流潔淨室
非單（dān）向流潔淨室是氣流以不均勻（yún）的速度呈不平行（háng）流（liú）動，伴有回流或渦流的（de）潔淨室。空氣經分布於送（sòng）風麵上的多個過濾器風口送入（rù），並（bìng）在較遠的位置回（huí）風。過（guò）濾器風口可在（zài）整個潔淨（jìng）室或潔淨區等距離分布，也可成組設於工藝（yì）核心區上方。過濾器出風口的位置（zhì）對於潔（jié）淨室（shì）的性能非常重（chóng）要。盡管非單向流（liú）係統中（zhōng）的回風位（wèi）置不像單向流那麽（me）重要，但為了盡量減少潔淨室中的死區，也應（yīng）注（zhù）意回風（fēng）口（kǒu）的（de）布局。
非單向流采用稀釋原理即“髒”的房間空氣與“幹淨（jìng）”的房間空氣（qì）不斷的混合，以降（jiàng）低房間內通（tōng）過紊流混合的空（kōng）氣中單位（wèi）微粒負荷。一般型式為（wéi）高效過濾器送風口頂部送風；回風的型式有下部回風、側（cè）下部回風和頂部回風等。依不同送風（fēng）換氣次數，實現不同的淨化級別，其初期投（tóu）資（zī）和運行費用也不同。
非單向流潔淨室
混合流潔淨室
混合流潔（jié）淨室是在同一房間內組合有單向流和（hé）非單向流的潔淨室。這種氣流的特點是將垂直單向流麵積壓縮到最（zuì）小，用大麵積非單向流替代大麵積單向流用以節省初期投資和運行（háng）費用。
a. 所有的濃度是（shì）累積的。例如：ISO5級0.3μm的10200粒子包含了（le）所有（yǒu）等於或者是超過該粒徑的所有粒子。
b. 這些濃度（dù）會導致為（wéi）分級需取大量空氣樣本。
c. 由於粒子濃度非常大，極限濃度不適用於表格中的這一區域（yù）。
d. 低濃度粒子在取樣和統計的局限性，會造成分級不當。
e. 由於取樣係統潛在的粒子損失，粒子在低濃度和粒徑大於1μm時樣品（pǐn）收集的局限性，使的該（gāi）粒徑下的潔（jié）淨（jìng）度級別不適用。
f. 為了規定ISO5級的粒徑，大粒子M描述符可能適用並與至少一種其他粒（lì）徑聯合使用。
g. 該級別僅適用（yòng）於動態測試。
通過以上表格對比（bǐ），歐盟潔淨度的要求與中國基本一致。FDA采用的是100級，1000級，10000級和100000級的要求，並對≥5.0μm的粒子未做明確的要求。考慮到（dào）測（cè）試的（de）不確定性，ISO14644-1:2015對各潔淨級別不同粒徑粒子濃度限值規定更加慎重，需要（yào）考（kǎo）慮（lǜ）更多內容（róng）。數據統計（jì）方麵，同時取消95%UCL的計算。
